X熒光光譜儀優(yōu)點：

1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘可以測完樣品中的全部待測元素；

2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定；

3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好；

4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析；

5、分析精密度高；

6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

X熒光光譜儀根據其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器，X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

X熒光光譜儀是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構成，X射線管產生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質測量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線，這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。

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